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Product Category详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
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组成要素 | 半导体激光器产品及设备 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 化工,建材,电子 |
具有高分辨率和效率的多功能光谱仪
随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展,极紫外辐射(EUV、XUV)已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。因此,我们构建了一个模块化的 XUV / EUV 和软 X 射线光谱仪,可用于等离子体光谱学、源诊断和计量学。它te别适用于激光等离子体源(LPS)和高次谐波源(高次谐波产生high harmonic generation,HHG)。
该光谱仪设计灵活,适用于多种应用。对于广泛的几何形状,可以获得非常高的光谱分辨率。通常,分辨率仅受检测器系统像素大小的限制(XUV CCD 为 13.5 µm)。光谱仪的所有部件都是 UHV 级的。
宽带高光谱分辨率
普通光谱仪针对一个波长的特定分辨率进行了优化。相比之下,我们的专业设计可在宽带宽下实现高分辨率。例如,我们的 XUV 光谱仪在 12-41 nm 的整个带宽内达到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。
操作方式及可用性
我们灵活的光谱仪提供多种操作模式,可以在操作过程中改变。
通过使用行程范围为几厘米的多轴电动工作台,用户可以轻松地对设备进行校准。此外,可以在光束路径中在线放置不同的光学器件来测量不同的光束特性。该光谱仪具有以下工作模式:(1)XUV光束检测,(2)角分辨光谱,(3)高效、光谱分辨率高的成像光谱。
下图为角分辨光谱(a、b)和成像光谱(c、d)的测量结果。
我们提供
优质产品
为您的应用程序全定制
2-100 nm 的光谱范围
高达 λ/Δλ > 10000 的高分辨率
多功能设置:电动载物台和自适应法兰
不透光的设置:可以集成遮光罩
超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 条件
在线操作模式&对准&光束检测
狭缝和无狭缝设置
出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率
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