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【资讯】0.44埃！显微镜分辨率新纪录！| Science
更新时间：2025-01-21
点击次数：494
长期以来，亚埃级电子显微分辨率一直局限于像差校正电子显微镜，它是理解物质的原子结构和性质的有力工具。
近日，美国伊利诺伊大学香槟分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等，阿贡国家实验室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等，在Science上发文，报道了未校正扫描透射电子显微镜scanning transmission electron microscope (STEM) 中的电子相干衍射成像，其深亚埃空间分辨率低至0.44埃，超过了像差校正工具的常规分辨率，并与它们的最高图像分辨率相媲美。
Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的电子显微镜中，获得低于0.5埃分辨率的图像。
图1. 未校正和畸变校正的STEMs中扭曲双层WSe2的ADF-STEM
图2. 未校正显微镜下扭曲双层WSe2
图3. 亚埃分辨率的电子相干衍射模拟
图4. 利用像差技术优化电子相干衍射探针
在广泛使用的商业显微镜中，演示了二维转角材料，远远超过了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃)。还进一步展示了几何像差如何为剂量有效的电子成像创造优化的结构光束。研究表明，对于深亚埃分辨率，不再需要昂贵的像差校正器。
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日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长，倍数高，能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头，显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X，工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm，精确调整分辨率可达0.1mm，并可同时进行视频输出和双目观测。
FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
通用参数
特点
采用Mitutoyo远场校正镜头
三端输出设计可轻松接收视频
转盘可接最多四个物镜
应用：
切割、修整、校正、 给半导体电路做标记
薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。
还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。
应用：晶体硅的内部观察；红外光谱特征分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
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参考文献： 中国光学期刊网
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