单模垂直腔面发射激光器VCSEL是指在衬底的垂直方向上构成谐振腔,沿垂直方向上出射激光的一种新型半导体激光器。
与FP半导体激光器不同, VCSEL的模式可分为沿谐振方向的纵模和垂直于谐振方向的横模VCSEL在谐振方向的腔长极短,一般为激射波长量级,使VCSEL具备固有的单纵模特性,因此单模或多模VCSEL是以垂直于谐振方向的橫模的模式数量来区分的。
VCSEL与传统的边发射激光器(EEL)不同的是其激光出射方向垂直于衬底表面,可获得圆形光斑。由于谐振腔长与波长接近,动态单模性比较好,可在光通信、光存储、激光显示和照明等领域得到广泛应用。其综合了高光束质量的垂直腔面发射激光器和高功率激光二极管抽运的固体激光器的优势,可同时获得高功率和高光束质量的激光输出。
VCSEL与其它半导体激光发光原理一样,首先是粒子数反转,通过外加能量激发半导体的电子由价带跃迁到导带,实现粒子数反转;当电子由导带返回价带时,将能量以光能的形式释放出来,即受激辐射作用。然后依靠上下两个DBR反射镜和增益物质组成的谐振腔实现共振放大,谐振腔使激发出来的光在上下两个DBR反射镜之间反射,不停地通过有源区,使受激光多次能量反馈而形成激光。
筱晓提供的760nm单模垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有出光功率高,线宽窄以及良好的一致性等优点,2nm调谐范围,专为可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)应用而设计,内置防静电(ESD)保护。