横河光谱分析仪可用于光谱的测量、各参考点通路信号光功率、各参考点光信噪比、光放大器各个波长的增益系数和增益平坦度的测试，当然，其在测试波长精度时不如波长计准确。它用于检测不同的元素，就检测效果而言，它是当前检测仪器中较准确的仪器。该仪器的分析原理是通过样品蒸汽中待测元素的基态原子吸收光源辐射的待测元素的特征光谱，由发射光谱的范围被减弱的程度，从而获得样品中待测元素的含量。
一、横河光谱分析仪的工作原理
原子发射光谱分析是根据原子所发射的光谱来测定物质的化学组分的。不同物质由不同元素的原子所组成，而原子都包含着一个结构紧密的原子核，核外围绕着不断运动的电子。每个电子处于一定的能级上，具有一定的能量。在正常的情况下，原子处于稳定状态，它的能量是zui低的，这种状态称为基态。但当原子受到能量（如热能、电能等）的作用时，原子由于与高速运动的气态粒子和电子相互碰撞而获得了能量，使原子中外层的电子从基态跃迁到更高的能级上，处在这种状态的原子称激发态。
电子从基态跃迁至激发态所需的能量称为激发电位，当外加的能量足够大时，原子中的电子脱离原子核的束缚力，使原子成为离子，这种过程称为电离。原子失去一个电子成为离子时所需要的能量称为一级电离电位。离子中的外层电子也能被激发，其所需的能量即为相应离子的激发电位。处于激发态的原子是十分不稳定的，在极短的时间内便跃迁至基态或其它较低的能级上。
二、光谱分析仪的分类
光谱仪可分为两大类：经典光谱仪和新型光谱仪。
经典光谱仪器是基于空间色散原理的仪器；新型光谱仪器是基于调制原理的仪器。经典光谱仪器是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的，它根据色散成分的分裂原理使用圆孔进入光。
光谱仪器可分为：棱镜光谱仪，衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。光学多通道OMA是近十年来出现了一种利用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器，它集成了信息采集，处理和存储功能。由于OMA不再使用感光乳胶，避免和消除暗室处理和之后繁琐的处理，测量工作从根本上改变了传统的光谱技术，大大改善了工作条件，提高了工作效率。
